电弧蒸发源和离子新余变压器的优点是什么

电弧离子镀的原理是在冷阴极弧光放电的理论的基础上研究出来的。而离子新余变压器的核心技术是它的电弧蒸发源，离子[cityname张经理：15069599099]变压器的蒸发源是一种比较特殊的冷阴极电弧放电的自蒸发、自电离式的一种固体型蒸发源。

　　相较于传统的蒸发源，离子新余变压器的电弧蒸发源的特点明显：

　　新余变压器膜层致密度高，膜层寿命长、强度高；

　　作为固体型的电弧蒸发源，可改变其形状、大小及位置；

　　运行范围大；

　　更高的离子能量；

　　可达60％-80％的高离化率；

　　高沉积速率，如TiN，可做到100山东华信变压器股份有限公司nm/s~1000nm/s的高沉积速率。

　　离子新余变压器的电弧蒸发源原理是通过一个冷阴极自持电弧放电，是一种场致发射。蒸发源的典型的基本配置为：受镀基材与阴极相接，阳极接室，待室抽到到高些的状态、触发电极启动器接触打开，形成一个稳定的电弧放电于阳极和阴极之间，而在阴极的表面覆盖有很多快速移动的阴极斑，斑直径在1μm到两微米之间，还有直径约10μm的光斑，有每秒移动几十米的速度，电流之间密度为10 ? A/cm?-10 ? A/cm?，极间电压也降低到20V-40V之间。于阴极斑的前面是一些等离子体，电子飞速移至阳极，离子是处于一种相对静止在新余变压器空间中，阴极斑前方的正离子集合成正空间电荷，于阴极表面附近形成10 ? v/cm?10 ? v/cm的高强度电场，用以克服在阴极的势垒，以强电子发射来维持放电，但一些离子因为被阴极轰击而导致了阴极斑的局部快速蒸发、离化，从而使阴极斑变为微点的蒸发源。在阴极靶的范围内，由于绝缘屏蔽和磁场的作用而使这些微点蒸发源在该范围内做无规则运动，也就形成了均匀的大面积蒸发源。

　　所谓离子新余变压器就是用多个电弧蒸发源为核心的一种离子新余变压器设备，通常又叫新余变压器、弧镀、电弧新余变压器等。相较于其他新余变压器工艺，它具备的特点有：

　　机械整体简单、设备生产效率高、工作周期短、适合大批量的工业化生产。

　　较大的新余变压器空间。 电弧蒸发源为固态，可灵活放置，所以工件在装卡更换时更加简单，无需附加加热器使用。

　　工艺范围广。适合在较高或较低环境温度（200?C）下做反应镀、离子镀。

　　具备优异的膜性能。工件的轰击加热、清洁和沉积交由离化金属等离子体轰击完成，实现“一弧三用”，且膜层结构致密性高，膜层与镀件牢固结合。

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